湿式静电除烟过程可分为四个阶段：气体的电离、烟气粒子获得离子而荷电、荷电粉尘向电极移动、将电极上的粉尘清除。将水雾喷向放电极和电晕区，水雾在芒刺电极形成的---的电晕场内荷电后分裂进一步雾化，电场力、荷电水雾的碰撞拦截、吸附凝并，共同对烟气粒子起捕集作用，终烟气粒子在电场力的驱动下到达集尘极而获。水在集尘极上形成连续的水膜，将捕获的烟气冲刷到灰斗中随水排出。
但对于一些大型电子厂处理量较大就不太适合于这种方法。因为活性炭存在一定饱和的，饱和之后需要进行更换。废气量大的电子厂更换的相对频繁。对此可采用活性炭吸附催化燃烧设备对电子行业废气处理。该设备采用蜂窝状活性炭为吸附剂，湿式静电设备工厂，结合吸附净化、脱附再生并浓缩voc和催化燃烧的原理，即将大风量、低浓度的有机废气通过蜂窝状活性炭吸附以达到净化空气的目的
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根据目前国内常见的静电除尘器型式可概略地分为以下几类：按气流方向分为立式和卧式，按沉淀极极型式分为板式和管式，按沉淀极板上粉尘的清除方法分为干式湿式等。
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